6月1日消息荷蘭ASML公司近日在官網宣布，完成了用于5nm及更先進工藝的第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000的測試。
據介紹，HMI eScan1000能夠同時產生、控制九道電子束，與單個電子束檢查工具相比，將使吞吐量提高達600%。
IT之家了解到，新的MBI系統(tǒng)包括一個電子光學系統(tǒng)，能夠創(chuàng)建和控制多個初級電子波束，然后收集和處理產生的次級電子波束，將波束之間的串擾限制在2%以內，并提供一致的成像質量。它還具有提高系統(tǒng)總體吞吐量的高速階段和實時處理來自多個波束的數據流的高速計算體系結構。
目前，首臺多波束檢測系統(tǒng)已于本周交付客戶進行鑒定。ASML計劃增加光束數量和光束分辨率，以滿足未來幾代芯片制造商的產品路線圖要求。
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